インテル、ASMLの最先端リソグラフィー装置を初めて導入

インテルは、ASML社製の最先端リソグラフィー装置2台が自社工場で稼働を開始し、初期結果から以前のモデルよりも信頼性が高いことが示されたと発表した。インテルのシニアプリンシパルエンジニアであるスティーブ・カーソン氏によると、ASMLの高開口数（High NA）EUVリソグラフィーマシンを使用することで、インテルは四半期で3万枚のウェハーを生産できるという。これらの大型シリコンウェハーは、数千個のコンピューティングチップの製造に使用できる。