ASMLとimec、2nm以下の研究開発をサポートするハイエンドノード技術で協力

この協力契約に基づき、ASMLとimecは、0.55 NA EUV、0.33 NA EUV、DUV液浸、YieldStar光学計測、HMIシングルビームおよびマルチビーム技術などのASMLのハイエンドノード技術を活用し、最先端のサブ2nm研究開発インフラストラクチャを国際的な半導体エコシステムに提供します。