ASML болон imec нь 2 нм-ээс доош R&D-ийг дэмжихийн тулд дээд зэргийн зангилааны технологи дээр хамтран ажилладаг.

Хамтын ажиллагааны гэрээний дагуу ASML болон imec нь ASML-ийн 0.55 NA EUV, 0.33 NA EUV, DUV immersion, YieldStar оптик хэмжил зүй, HMI нэг болон олон цацрагт технологи зэрэг ASML-ийн дээд зэрэглэлийн зангилааны технологийг ашиглан олон улсын хагас дамжуулагчийн дэд бүтэц, техникийн чадавхийг хангах болно.