ASML et imec collaborent sur une technologie de nœud haut de gamme pour soutenir la R&D en dessous de 2 nm

Dans le cadre de cet accord de collaboration, ASML et imec s'appuieront sur les technologies de nœuds haut de gamme d'ASML, telles que 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, l'immersion DUV, la métrologie optique YieldStar et les technologies HMI à faisceau unique et multifaisceaux pour fournir à l'écosystème international des semi-conducteurs une infrastructure de R&D sub-2 nm de pointe.