ASML og imec samarbeider om avansert nodeteknologi for å støtte FoU under 2nm

2025-03-15 12:31
 443
I henhold til samarbeidsavtalen vil ASML og imec utnytte ASMLs avanserte nodeteknologier som 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV-nedsenking, YieldStar optisk metrologi og HMI enkeltstråle- og multistråleteknologier for å gi det internasjonale halvlederøkosystemet state-of-the-art R&D sub-D2-struktur.