ASML и imec сотрудничают в области высокопроизводительной узловой технологии для поддержки НИОКР ниже 2 нм

В рамках соглашения о сотрудничестве ASML и imec будут использовать передовые узловые технологии ASML, такие как 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, иммерсионное DUV, оптическую метрологию YieldStar, а также однолучевые и многолучевые технологии HMI, чтобы обеспечить международную полупроводниковую экосистему современной инфраструктурой НИОКР с производственными процессами менее 2 нм.