ASML và imec hợp tác về công nghệ nút cao cấp để hỗ trợ R&D dưới 2nm

Theo thỏa thuận hợp tác, ASML và imec sẽ tận dụng các công nghệ nút cao cấp của ASML như EUV 0,55 NA, EUV 0,33 NA, nhúng DUV, phép đo quang học YieldStar và công nghệ chùm đơn và chùm đa HMI để cung cấp cho hệ sinh thái bán dẫn quốc tế cơ sở hạ tầng R&D dưới 2nm hiện đại.