ASML และ imec ร่วมมือกันพัฒนาเทคโนโลยีโหนดระดับไฮเอนด์เพื่อรองรับการวิจัยและพัฒนาในระดับต่ำกว่า 2 นาโนเมตร

ภายใต้ข้อตกลงความร่วมมือ ASML และ imec จะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีโหนดระดับไฮเอนด์ของ ASML เช่น 0.55 NA EUV, 0.33 NA EUV, การจุ่ม DUV, การวัดด้วยแสงแบบออปติก YieldStar และเทคโนโลยีลำแสงเดี่ยวและหลายลำแสง HMI เพื่อมอบโครงสร้างพื้นฐานด้านการวิจัยและพัฒนาขนาดต่ำกว่า 2 นาโนเมตรที่ล้ำสมัยให้กับระบบนิเวศเซมิคอนดักเตอร์ระดับนานาชาติ