英特爾前技術長基辛格加入xLight,推動EUV曝光機技術發展

2025-04-15 20:11
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英特爾前技術長兼執行長基辛格現擔任xLight執行董事長,xLight是一家專注於開發極紫外線曝光系統光源技術的新創公司。 EUV曝光機技術先進,目前只有ASML能製造相關係統。基辛格表示,xLight已經創建了高功率LPP來源,這將大幅降低生產成本和成本。他們計劃在2028年開始生產這種光源,並且希望它能與現有的ASML工具相容。