인텔 전 최고기술책임자(CTO) 겔싱어, xLight에 합류해 EUV 노광기 기술 개발 추진

인텔의 전 CTO 겸 CEO인 겔싱어는 현재 극자외선 노출 시스템을 위한 광원 기술 개발에 주력하는 스타트업인 xLight의 회장을 맡고 있습니다. EUV 노광 장비 기술은 매우 발전되어 현재 ASML만이 관련 시스템을 제작할 수 있습니다. 키신저는 xLight가 생산 비용과 경비를 크게 줄일 수 있는 고전력 LPP 소스를 만들었다고 말했습니다. 그들은 2028년에 광원 생산을 시작할 계획이며, 기존 ASML 도구와 호환되기를 바라고 있습니다.