インテルの元最高技術責任者ゲルシンガー氏がxLightに入社し、EUV露光機の技術開発を推進

元インテルCTO兼CEOのゲルシンガー氏は現在、極端紫外線照射システム用の光源技術の開発に注力するスタートアップ企業xLightの取締役会長を務めている。 EUV露光機の技術は進んでおり、現在関連システムを製造できるのはASMLだけだ。キッシンジャー氏は、xLight 社が製造コストと経費を大幅に削減する高出力 LPP 光源を開発したと述べた。同社は2028年に光源の生産を開始する予定で、既存のASMLツールとの互換性を持たせることを期待している。