日本には三フッ化窒素の製造を行っている企業が1社だけ残っている。

2025-05-29 07:30
 344
三井化学の撤退により、日本で三フッ化窒素(NF3)の生産を行う企業は関東電化工業のみとなる。三井化学はこれまで、ICTソリューション事業本部半導体・光学材料事業部において、半導体・液晶製造装置の洗浄ガスとして使用されるNF3事業を展開してきました。