日本には三フッ化窒素の製造を行っている企業が1社だけ残っている。
メルセデス・ベンツ EQE SUV
と
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これ
ガス
液晶
のみ
製造
本部
光学
日本
装置
窒素
体
事業部
半導体
電化
これ
生産
に
生産
NF3
三フッ化窒素
2025-05-29 07:30
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三井化学の撤退により、日本で三フッ化窒素(NF3)の生産を行う企業は関東電化工業のみとなる。三井化学はこれまで、ICTソリューション事業本部半導体・光学材料事業部において、半導体・液晶製造装置の洗浄ガスとして使用されるNF3事業を展開してきました。
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