英特尔采用最新光刻机，台积电暂不跟进

英特尔已在18A制程中使用ASML的High NA EUV光刻机，但台积电并未急于采用此昂贵设备。台积电业务开发及全球销售高级副总裁张晓强表示，尽管High NA EUV能力令人印象深刻，但设备价格超过3.5亿欧元。台积电将继续使用标准型EUV光刻机进行生产。