ASML已向客户交付5台High NA EUV光刻机

ASML已向客户交付了5台High NA EUV光刻机，其中英特尔拿到了多数，三星可能也拿到了1-2台。三星已组建了一个致力于1nm制造的团队，目标是在2029年实现量产。