Le potentiel et les limites des capteurs acoustiques MEMS optiques micro-résonants

Les capteurs acoustiques MEMS optiques micro-résonants détectent les ondes sonores en mesurant les différences de phase, les différences de longueur d'onde et les variations d'intensité lumineuse dues aux variations d'indice de réfraction. Bien qu'ils présentent un fort potentiel pour la détection des ondes sonores sous-marines, ils présentent également des difficultés, telles qu'une bande de fréquences de fonctionnement étroite et une structure fragile.