Potenzial und Grenzen mikroresonanter optischer MEMS-Akustiksensoren

Mikroresonante optische MEMS-Akustiksensoren erfassen Schallwellen durch Messung von Phasenunterschieden, Wellenlängenunterschieden und durch Brechungsindexänderungen verursachten Lichtintensitätsänderungen. Sie bieten zwar großes Potenzial für die Unterwasser-Schallwellenerkennung, stehen aber auch vor Herausforderungen wie einem schmalen Betriebsfrequenzband und einer fragilen Struktur.