Zukünftige Entwicklungstrends der 3D-NAND-Technologie

Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der 3D-NAND-Technologie wird erwartet, dass die Speicherindustrie bis 2030 3D-NAND-Flash-Speicherchips mit mehr als 1000 Schichten und einer Speicherkapazität von ca. 100 Gbit/mm² realisieren kann. Um dieses Ziel zu erreichen, erforscht die Industrie verschiedene neue Technologien, darunter die Integration mit Luftspalt und die Trennung von Ladungsfallenschichten.