积塔半导体上海临港基地启动设备入场仪式，ASML光刻机正式投入使用

3月30日，积塔半导体在上海临港举行了300mm车规半导体集成电路制造基地的设备入场开工仪式，荷兰ASML公司的光刻机已正式投入使用。光刻机是芯片制造的核心设备，其精度直接影响到芯片的性能和质量。