三星购买Lasertec的High-NA EUV掩模检测工具

据报道，三星已经购买了Lasertec的High-NA EUV掩模检测工具Actis A300。与传统EUV专用工具相比，使用High-NA EUV专用工具检查半导体掩模可将对比度提高30%以上。