High-NA EUV设备价格高昂且尺寸较大

High-NA EUV设备更昂贵，售价达3.8亿~4亿美元，其成像范围减半，这将需要对芯片设计进行重大更改。此外，与Low-NA系统相比，High-NA EUV系统的尺寸更大，这意味着芯片制造商需要重新考虑其晶圆厂布局以适应这些新设备。