Denso公司投资建设8英寸SiC产线

2024-10-11 17:56
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今年4月,Denso总裁林信之介透露,公司正在推进8英寸SiC技术的商业化,整个项目投资金额达到156.97亿日元(约合人民币7.45亿元)。Denso的目标是通过使用专有的气体法长晶技术提高晶体生长速度,从而降低30%的生产成本。此外,Denso已经完成了6英寸SiC晶圆工艺,8英寸晶圆中试线建设也已基本完成,针对8英寸SiC晶圆翘曲问题实现了有效性对策。