芯辰半导体宣布新外延设备投产,覆盖全材料体系

2024-12-17 18:11
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芯辰半导体宣布其新外延设备已正式投产,涵盖砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)光芯片四元化合物全材料体系。目前,该公司已成功实现波长范围760nm至1700nm的外延片量产,外延均匀性控制在激射中心波长外2nm以内。此外,典型波长的激光芯片外延片,如808、850、905、940、1064、1550、1654nm,已在自主产线中成功验证了VCSEL或DFB芯片。