Lam Research lança a primeira máquina de deposição de laser pulsado produzida em massa do mundo

A Lam Research lançou recentemente a primeira máquina de deposição de laser pulsado (PLD) do mundo para produção em massa, com o objetivo de melhorar o desempenho de microfones e filtros de radiofrequência (RF) de próxima geração baseados na tecnologia MEMS. O sistema, denominado Pulsus™ PLD, fornece filmes de nitreto de alumínio dopado com escândio (AlScN) com maior teor de escândio, abrindo caminho para dispositivos de alto desempenho em aplicações de consumo e automotivas. Atualmente, o Pulsus™ começou a ser enviado para alguns fabricantes de dispositivos MEMS especializados.