Lam Research lanseeraa maailman ensimmäisen massatuotannon pulssilaserpinnoituskoneen

Lam Research toi äskettäin markkinoille maailman ensimmäisen massatuotantoon tarkoitetun pulssilaserpinnoituskoneen (PLD), jonka tavoitteena on parantaa MEMS-teknologiaan perustuvien seuraavan sukupolven mikrofonien ja radiotaajuussuodattimien suorituskykyä. Järjestelmä, nimeltään Pulsus™ PLD, tuottaa skandiumilla seostettuja alumiininitridikalvoja (AlScN), joissa on korkeampi skandiumpitoisuus, mikä tasoittaa tietä korkean suorituskyvyn laitteille kuluttaja- ja autosovelluksissa. Tällä hetkellä Pulsus™ on alkanut toimittaa joillekin MEMS-erikoisvalmistajille.