Lam Research пуска първата в света масово произвеждана машина за импулсно лазерно отлагане

Lam Research наскоро пусна първата в света машина за импулсно лазерно отлагане (PLD) за масово производство, целяща да подобри работата на следващото поколение микрофони и радиочестотни (RF) филтри, базирани на MEMS технология. Системата, наречена Pulsus™ PLD, доставя филми от алуминиев нитрид с добавка на скандий (AlScN) с по-високо съдържание на скандий, проправяйки пътя за устройства с висока производителност в потребителски и автомобилни приложения. В момента Pulsus™ е започнал да се доставя на някои производители на специализирани MEMS устройства.