Lam Research wprowadza na rynek pierwszą na świecie masowo produkowaną maszynę do osadzania laserem pulsacyjnym

61
Firma Lam Research uruchomiła niedawno pierwszą na świecie maszynę do osadzania laserowego impulsowego (PLD) do masowej produkcji, której celem jest poprawa wydajności mikrofonów nowej generacji i filtrów częstotliwości radiowych (RF) opartych na technologii MEMS. System o nazwie Pulsus™ PLD dostarcza warstwy azotku glinu domieszkowanego skandem (AlScN) o wyższej zawartości skandu, torując drogę wysokowydajnym urządzeniom do zastosowań konsumenckich i motoryzacyjnych. Obecnie Pulsus™ rozpoczął wysyłkę do niektórych producentów specjalistycznych urządzeń MEMS.