Lam Research uvádza na trh prvý sériovo vyrábaný pulzný laserový depozičný stroj na svete

Spoločnosť Lam Research nedávno uviedla na trh prvý stroj na pulzné laserové nanášanie (PLD) na svete pre hromadnú výrobu, ktorého cieľom je zlepšiť výkon mikrofónov a rádiofrekvenčných (RF) filtrov novej generácie založených na technológii MEMS. Systém s názvom Pulsus™ PLD poskytuje filmy z nitridu hliníka dopovaného skandiom (AlScN) s vyšším obsahom skandia, čím dláždi cestu pre vysokovýkonné zariadenia v spotrebiteľských a automobilových aplikáciách. V súčasnosti sa Pulsus™ začal dodávať niektorým výrobcom špeciálnych zariadení MEMS.