Lam Research ເປີດ​ຕົວ​ເຄື່ອງ​ເກັບ​ກຳ​ລັງ​ເລ​ເຊີ​ກຳ​ລັງ​ແຮງ​ຄັ້ງ​ທຳ​ອິດ​ຂອງ​ໂລກ

ບໍ່ດົນມານີ້, ການຄົ້ນຄວ້າ Lam ໄດ້ເປີດຕົວເຄື່ອງດູດ laser pulsed (PLD) ເຄື່ອງທໍາອິດຂອງໂລກໃນການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່, ເພື່ອແນໃສ່ປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງໄມໂຄໂຟນລຸ້ນຕໍ່ໄປແລະການກັ່ນຕອງຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ (RF) ໂດຍອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຊີ MEMS. ລະບົບດັ່ງກ່າວ, ເອີ້ນວ່າ Pulsus™ PLD, ສະໜອງຟິມອະລູມິນຽມ nitride (AlScN) ທີ່ມີທາດ scandium-doped (AlScN) ທີ່ມີເນື້ອໃນ scandium ສູງຂຶ້ນ, ປູທາງໃຫ້ອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນການນໍາໃຊ້ຂອງຜູ້ບໍລິໂພກແລະລົດຍົນ. ປະຈຸບັນ, Pulsus™ ໄດ້ເລີ່ມສົ່ງໃຫ້ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ MEMS ພິເສດບາງອັນ.