Axcelis が日本のパワーデバイスメーカーから Purion EXE™ SiC 高エネルギーイオン注入装置を受注

Axcelis は、日本の大手パワーデバイスチップメーカーへの Purion EXE™ SiC 高エネルギーイオン注入装置の納入と、​​Purion H200™ SiC イオン注入装置の評価閉ループの完了を発表しました。これらの装置は、150mm および 150mm の製造に使用されます。 200mm 炭化ケイ素パワーデバイス。