Axcelis, 일본 전력 장치 제조업체로부터 Purion EXE™ SiC 고에너지 이온 주입 장치 주문 수주

Axcelis는 일본 최고의 전력 장치 칩 제조업체에 Purion EXE™ SiC 고에너지 이온 주입기를 납품하고 Purion H200™ SiC 이온 주입기의 폐쇄 루프 평가를 완료했다고 발표했습니다. 200mm 실리콘 카바이드 전력 장치.