Axcelis нь Японы цахилгаан төхөөрөмж үйлдвэрлэгчээс Purion EXE™ SiC өндөр энергитэй ион суулгацыг нийлүүлэх захиалгыг хожлоо.

85
Axcelis нь Purion EXE™ SiC өндөр эрчим хүчний ион суулгацыг Японы тэргүүлэгч цахилгаан төхөөрөмжийн чип үйлдвэрлэгчид нийлүүлж, Purion H200™ SiC ион суулгацын үнэлгээний хаалттай хүрд дууссаныг зарлалаа 200 мм цахиурын карбидын цахилгаан төхөөрөмж.