Axcelis erhält Auftrag eines japanischen Herstellers von Elektrogeräten zur Lieferung des hochenergetischen Ionenimplantators Purion EXE™ SiC

Axcelis gab die Lieferung des Purion EXE™ SiC-Hochenergie-Ionenimplantierers an Japans führenden Hersteller von Leistungsgerätechips und den Abschluss des geschlossenen Evaluierungskreislaufs des Purion H200™ SiC-Ionenimplantierers bekannt. Diese Ausrüstung wird für die Produktion von 150 mm und verwendet 200-mm-Siliziumkarbid-Leistungsgeräte.