Axcelis remporte une commande auprès d'un fabricant japonais de dispositifs électriques pour la livraison de l'implanteur ionique haute énergie Purion EXE™ SiC

Axcelis a annoncé la livraison de l'implanteur d'ions SiC haute énergie Purion EXE™ au principal fabricant japonais de puces pour dispositifs de puissance et l'achèvement de l'évaluation en boucle fermée de l'implanteur d'ions SiC Purion H200™. Ces équipements seront utilisés pour la production de 150 mm et 150 mm. Appareils électriques en carbure de silicium de 200 mm.