Axcelis recebe pedido do fabricante japonês de dispositivos de energia para fornecer o implantador de íons de alta energia Purion EXE™ SiC

A Axcelis anunciou a entrega do implantador de íons de alta energia Purion EXE™ SiC ao fabricante líder de chips para dispositivos de energia do Japão e a conclusão do ciclo fechado de avaliação do implantador de íons SiC Purion H200™. Esses equipamentos serão usados ​​para a produção de 150 mm e. Dispositivos de potência de carboneto de silício de 200 mm.