Axcelis sai tilauksen japanilaiselta teholaitteiden valmistajalta Purion EXE™ SiC korkeaenergisen ioni-istuttimen toimittamisesta

Axcelis ilmoitti suuren energian Purion EXE™ SiC -ioni-implantterin toimittamisesta Japanin johtavalle teholaitteiden siruvalmistajalle ja Purion H200™ SiC -ioni-implantterin arvioinnin päätökseen. Näitä laitteita käytetään 150 mm:n ja 200 mm piikarbiditeholaitteet.