Axcelis vinder ordre fra japansk producent af strømforsyninger til levering af Purion EXE™ SiC højenergi-ionimplantator
2024-12-24 19:27
85
Axcelis annoncerede leveringen af Purion EXE™ SiC højenergi-ion-implantatoren til Japans førende producent af power device-chips og færdiggørelsen af evalueringen af den lukkede sløjfe af Purion H200™ SiC-ion-implantatoren. Dette udstyr vil blive brugt til produktion af 150 mm og 200 mm siliciumcarbid kraftenheder.
