Axcelis krijgt opdracht van de Japanse fabrikant van elektrische apparaten voor de levering van de Purion EXE™ SiC-ionenimplantator met hoge energie

Axcelis kondigde de levering aan van de Purion EXE™ SiC hoogenergetische ionenimplantator aan de toonaangevende Japanse chipfabrikant van stroomapparatuur en de voltooiing van de evaluatie van de gesloten lus van de Purion H200™ SiC-ionenimplantator. Deze apparatuur zal worden gebruikt voor de productie van 150 mm en 200 mm siliciumcarbide voedingsapparaten.