Axcelis získal objednávku od japonského výrobcu energetických zariadení na dodanie vysokoenergetického iónového implantátora Purion EXE™ SiC

Spoločnosť Axcelis oznámila dodanie vysokoenergetického iónového implantátora Purion EXE™ SiC poprednému japonskému výrobcovi čipov pre energetické zariadenia a dokončenie hodnotiacej uzavretej slučky iónového implantátora Purion H200™ Tieto zariadenia sa budú používať na výrobu 150 mm a 200 mm výkonové zariadenia z karbidu kremíka.