Axcelis získal objednávku od japonského výrobce energetických zařízení na dodávku vysokoenergetického iontového implantátoru Purion EXE™ SiC

Společnost Axcelis oznámila dodání vysokoenergetického iontového implantátoru Purion EXE™ SiC přednímu japonskému výrobci čipů energetických zařízení a dokončení hodnotící uzavřené smyčky iontového implantátoru Purion H200™ SiC Výkonová zařízení z karbidu křemíku 200 mm.