Ulepszenia wydajności systemu Twinscan NXE:3800E firmy ASML

Zgodnie z wersją planu działania na rok 2021 opublikowaną przez ASML, system Twinscan NXE:3800E będzie charakteryzował się znaczną poprawą dokładności osiowania i wydajności produkcyjnej w porównaniu z poprzednią generacją 3600D, przy wydajności do 195 płytek na godzinę, czyli wyższej niż 160 płytek modelu 3600D Prawie 22% i oczekuje się, że osiągnie docelowy poziom 220 sztuk.