Zlepšenie výkonu systému Twinscan NXE:3800E od ASML

Podľa verzie plánu z roku 2021, ktorú vydala ASML, bude mať systém Twinscan NXE:3800E v porovnaní s predchádzajúcou generáciou 3600D výrazné zlepšenia v presnosti zarovnania a výrobnej kapacity, s priepustnosťou až 195 plátkov za hodinu, čo je nárast oproti 160 plátkov 3600D Takmer 22 % a očakáva sa, že dosiahne cieľový počet 220 kusov.