Zlepšení výkonu systému Twinscan NXE:3800E od ASML

Podle verze plánu pro rok 2021 vydané společností ASML bude mít systém Twinscan NXE:3800E ve srovnání s předchozí generací 3600D výrazné zlepšení přesnosti vyrovnání a výrobní kapacity s propustností až 195 waferů za hodinu, což je více než 160 plátků 3600D Téměř 22 % a očekává se, že dosáhne cíle 220 kusů.