Паляпшэнні прадукцыйнасці сістэмы ASML Twinscan NXE:3800E

80
Згодна з версіяй дарожнай карты на 2021 год, апублікаванай ASML, сістэма Twinscan NXE:3800E будзе мець значныя паляпшэнні ў дакладнасці выраўноўвання і вытворчай магутнасці ў параўнанні з папярэднім пакаленнем 3600D, з прапускной здольнасцю да 195 пласцін у гадзіну, што вышэй, чым у 160 пласцін 3600D амаль на 22%, і чакаецца дасягненне мэты ў 220 штук.