ການປັບປຸງປະສິດທິພາບລະບົບ Twinscan NXE:3800E ຂອງ ASML

ອີງຕາມແຜນທີ່ຖະຫນົນສະບັບປີ 2021 ທີ່ປ່ອຍອອກມາໂດຍ ASML, ລະບົບ Twinscan NXE: 3800E ຈະມີການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດວາງແລະຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດເມື່ອທຽບໃສ່ກັບລຸ້ນ 3600D ທີ່ຜ່ານມາ, ທີ່ມີຄວາມໄວເຖິງ 195 wafers ຕໍ່ຊົ່ວໂມງ, ເຊິ່ງສູງກວ່າ. 160 wafers ຂອງ 3600D ເກືອບ 22%, ແລະຄາດວ່າຈະບັນລຸເປົ້າຫມາຍຂອງ 220 ຕ່ອນ.