Axcelis向全球领先碳化硅功率器件制造商交付多批离子注入器

4月17日，半导体离子注入设备供应商Axcelis宣布为全球领先的碳化硅（SiC）功率器件制造商交付多批Purion Power系统离子注入器。这些设备包括Purion H200 SiC大电流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中电流注入机，并在第一季度完成发货。这些6英寸（150mm）和8英寸（200mm）设备将用于支持汽车、工业、能源和其他电力密集型应用的功率器件的大批量生产。