Kynning á gerðum ljóslitavéla og helstu ASML gerðum

Gerð steinþrykkja véla er aðallega skipt í I-line, KrF, ArF þurraðferð, ArF dýfingargerð og EUV. Meðal þeirra er EUV fullkomnasta gerðin. Helstu gerðir ASML eru: I-line XP 400/450 röð, sem samsvarar ferlinu 300~500nm KrF XT860/1060, sem samsvarar ferlinu 180~130nm ArF þurrt ferli XT1400/1460/1700, sem samsvarar ferlihnút 13; Um það bil 0~65nm; ArF sökkt XT1900 og NXT röð, þar á meðal NXT1950/1965/1970/1980 og NXT2000/2050/2100, samsvara ferlum undir 45nm. Aðalgerð EUV er NXE3400/3600, sem samsvarar undir 7nm.