Aféierung zu photolithography Maschinn Zorte an Haapt ASML Modeller

D'Zorte vu Lithographiemaschinne ginn haaptsächlech an I-Linn, KrF, ArF Trockenmethod, ArF Tauchtyp an EUV opgedeelt. Ënner hinnen ass EUV déi fortgeschratt Typ. Dem ASML seng Haaptmodeller enthalen: I-line XP 400/450 Serie, entspriechend dem Prozess vun 300 ~ 500nm KrF's XT860/1060, entspriechend dem Prozess vun 180 ~ 130nm dréchen Prozess XT1400/1460/1700, entspriechend dem Prozess Node 13; Ronn 0 ~ 65nm; ArF ënnerdaach XT1900 an NXT Serie, dorënner NXT1950/1965/1970/1980 an NXT2000/2050/2100, entspriechen Prozesser ënner 45nm. Den Haaptmodell vun EUV ass NXE3400/3600, wat ënner 7nm entsprécht.