Réamhrá le cineálacha meaisín photolithography agus samhlacha ASML is mó

Roinntear na cineálacha meaisíní liteagrafaíocht go príomha i I-líne, KrF, modh tirim ArF, cineál tumoideachais ArF agus EUV. Ina measc, is é EUV an cineál is airde chun cinn. I measc na múnlaí is mó atá ag ASML tá: I-line XP 400/450 sraith, a fhreagraíonn don phróiseas 300 ~ 500nm; Timpeall 0 ~ 65nm; Is é an príomh-mhúnla EUV ná NXE3400/3600, a fhreagraíonn do faoi bhun 7nm.