Hyrje në llojet e makinave fotolitografike dhe modelet kryesore ASML

Llojet e makinerive të litografisë ndahen kryesisht në I-line, KrF, metodë e thatë ArF, tip zhytjeje ArF dhe EUV. Midis tyre, EUV është lloji më i avancuar. Modelet kryesore të ASML përfshijnë: I-line XP Seria 400/450, që korrespondon me procesin e 300 ~ 500 nm XT860/1060 të KrF, që korrespondon me procesin e thatë 180 ~ 130 nm, që korrespondon me nyjen e procesit 13; Rreth 0 ~ 65 nm; seritë XT1900 dhe NXT të zhytura në ArF, duke përfshirë NXT1950/1965/1970/1980 dhe NXT2000/2050/2100, korrespondojnë me proceset nën 45 nm. Modeli kryesor i EUV është NXE3400/3600, i cili korrespondon me nën 7nm.