ការណែនាំអំពីប្រភេទម៉ាស៊ីន photolithography និងម៉ូដែល ASML សំខាន់ៗ

ប្រភេទនៃម៉ាស៊ីន lithography ត្រូវបានបែងចែកជាចម្បងទៅជា I-line, KrF, ArF dry method, ArF immersion type និង EUV ។ ក្នុងចំណោមពួកគេ EUV គឺជាប្រភេទទំនើបបំផុត។ ម៉ូដែលសំខាន់ៗរបស់ ASML រួមមានៈ I-line XP ស៊េរី 400/450 ដែលត្រូវគ្នាទៅនឹងដំណើរការ 300 ~ 500nm របស់ KrF របស់ XT860/1060 ដែលត្រូវគ្នានឹងដំណើរការ 180 ~ 130nm; ជុំវិញ 0 ~ 65nm; ម៉ូដែលសំខាន់នៃ EUV គឺ NXE3400/3600 ដែលត្រូវគ្នាទៅនឹង 7nm ខាងក្រោម។